Tiêu chuẩn nước cấp cho sản xuất điện tử và bán dẫn

Chỉ tiêu

Dạng E-1

Dạng E-1.1

Dạng E-1.2

Dạng E-2

Dạng E-3

Dạng E-4

Ghi chú

Linewidth (microns)

1.0-0.5

0.35-0.25

0.18-0.09

5.0-1.0

>5.0

-

Điện trở, 25◦C
(Đo trực tuyến)

18.1

18.2

18.2

16.5

12

0.5

TOC (µg/l)
(Trực tuyến < 10ppb)

5

2

1

50

300

1000

Oxy hòa tan trực tuyến (µg/l)

25

10

3

-

-

-

On-line Particles/L (phạm vi micron)

0.05-0.1

1,000

200

-

-

-

0.1-0.2

1,000

350

<100

-

-

-

0.2-0.5

500

<100

<10

-

-

-

0.5-1.0

200

<50

<5

-

-

-

1

<100

<20

<1

-

-

-

SEM Particles/L (phạm vi micron

0.1-0.2

1,000

700

<250

-

-

-

0.2-0.5

500

400

<100

3,000

-

-

0.5-1

100

50

<30

-

10,000

-

10

<50

<30

<10

-

-

100,000

Vi sinh trong CFU/Thể tích

100 ml mẫu

5

3

1

10

50

100

1 L mẫu

10

Tổng silica (µg/l)

5

3

1

10

50

1,000

Silica hòa tan (µg/l)

3

1

0.5

-

-

-

Các anion và ammonium bằng phương pháp sắc ký ion (µg/l)

Amonium

0.1

0.1

0.05

-

-

-

Bromide

0.1

0.05

0.02

-

-

-

Chloride

0.1

0.05

0.02

1

10

1,000

Flouride

0.1

0.05

0.03

-

-

-

Nitrate

0.1

0.05

0.02

1

5

500

Nitrite

0.1

0.05

0.02

-

-

-

Phosphate

0.1

0.05

0.02

1

5

500

Sulphate

0.1

0.05

0.02

1

5

500

Kim loại bằng phương pháp phổ plasma (ICP/MS) (µg/l)

Aluminum

0.05

0.02

0.005

-

-

-

Barium

0.05

0.02

0.001

-

-

-

Boron

0.3

0.1

0.05

-

-

-

Calcium

0.5

0.02

0.002

-

-

-

Chromium

0.05

0.02

0.002

-

-

-

Copper

0.05

0.02

0.002

1

2

500

Iron

0.05

0.02

0.002

-

-

-

Lead

0.05

0.02

0.005

-

-

-

Lithium

0.05

0.02

0.003

-

-

-

Magnesium

0.05

0.02

0.002

-

-

-

Manganese

0.05

0.02

0.002

-

-

-

Nickel

0.05

0.02

0.002

1

2

500

Potassiim

0.05

0.02

0.005

2

5

500

Sodium

0.05

0.02

0.005

1

5

1,000

Strontium

0.05

0.02

0.001

-

-

-

Zinc

0.05

0.02

0.002

1

5

500